CMPro-D系列 CMP專用高精度(PP)熔噴深層濾芯

"邁博瑞CMPro-D系列濾芯專為化學機械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）過濾而設計。有效去除各種CMP slurry中的團聚顆粒或膠體，同時保留有效研磨顆粒，保持slurry粒徑分布不變。該系列產品采用獨特的專利復合結構，制備出孔徑漸變的深層聚丙烯濾材。濾材外層（upstream）由連續的熔噴濾材構成，有利于最大化納污容量，延長濾 芯使用壽命以及有效降低成本。濾材內層（down_x005f_x0002_stream）由納米纖維膜卷繞而成，提供杰出的過濾效率，確保可靠的過濾效果。"

產品描述

邁博瑞CMPro-D系列熔噴濾芯專為化學機械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）過濾而設計。有效去除各種CMP slurry中的團聚顆粒或膠體，同時保留有效研磨顆粒，保持slurry粒徑分布不變。該系列產品采用獨特的專利復合結構，制備出孔徑漸變的深層聚丙烯濾材。濾材外層（upstream）由連續的熔噴濾材構成，有利于最大化納污容量，延長濾芯使用壽命以及有效降低成本。濾材內層（down-stream）由納米纖維膜卷繞而成，提供杰出的過濾效率，確保可靠的過濾效果。

產品特點

  • 大梯度的分級結構設計，確保濾芯的過濾效率并最大化使用壽命

  • 超細纖維結構有效攔截造成劃傷的大顆粒，同時保留所需研磨顆粒

  • 更長的使用壽命有助于降低成本

  • 純PP材質，不使用表面活性劑和粘結劑，確保低析出

典型應用

產品保證

工作特性

材 料 過濾層/支撐層 聚丙烯
中心桿/端蓋 聚丙烯
密封圈 EPDM
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精度 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm
尺寸規格 外徑 69mm
長度 10inch, 20inch
最大使用條件 最大正向壓差 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F)
最大反向壓差 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
最高使用溫度 80 ?C (176 ?F)
包裝方式 干包裝；超純水預潤濕包裝

產品尺寸

流量-壓差曲線

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